中国教育图书进出口有限公司

Journal of Vacuum Science & Technology B: Microelectronics and Nanometer Structures

I S S N：0734-211X

出版社：American Vacuum Society

2009 年

第 27 卷 6 期

第 27 卷 5 期

第 27 卷 4 期

第 27 卷 3 期

第 27 卷 2 期

第 27 卷 1 期

2008 年

第 26 卷 5 期

第 26 卷 4 期

第 26 卷 3 期

第 26 卷 2 期

第 26 卷 1 期

2007 年

第 25 卷 6 期

第 25 卷 5 期

第 25 卷 4 期

第 25 卷 3 期

第 25 卷 2 期

第 25 卷 1 期

2006 年

第 24 卷 6 期

第 24 卷 5 期

第 24 卷 4 期

第 24 卷 3 期

第 24 卷 2 期

第 24 卷 1 期

2005 年

第 23 卷 6 期

第 23 卷 5 期

第 23 卷 4 期

第 23 卷 3 期

第 23 卷 2 期

第 23 卷 1 期

2004 年

第 22 卷 6 期

第 22 卷 5 期

第 22 卷 4 期

第 22 卷 3 期

第 22 卷 2 期

第 22 卷 1 期

2003 年

第 21 卷 6 期

第 21 卷 5 期

第 21 卷 4 期

第 21 卷 3 期

第 21 卷 2 期

第 21 卷 1 期

2002 年

第 20 卷 6 期

第 20 卷 5 期

第 20 卷 4 期

第 20 卷 3 期

第 20 卷 2 期

第 20 卷 1 期

2001 年

第 19 卷 6 期

第 19 卷 5 期

第 19 卷 4 期

第 19 卷 3 期

第 19 卷 2 期

第 19 卷 1 期

2000 年

第 18 卷 6 期

第 18 卷 5 期

第 18 卷 4 期

第 18 卷 3 期

第 18 卷 2 期

第 18 卷 1 期

1999 年

第 17 卷 6 期

第 17 卷 5 期

第 17 卷 4 期

第 17 卷 3 期

第 17 卷 2 期

第 17 卷 1 期

1998 年

第 16 卷 6 期

第 16 卷 5 期

第 16 卷 4 期

第 16 卷 3 期

第 16 卷 2 期

第 16 卷 1 期

1997 年

第 15 卷 6 期

第 15 卷 5 期

第 15 卷 4 期

第 15 卷 3 期

第 15 卷 2 期

第 15 卷 1 期

1996 年

第 14 卷 6 期

第 14 卷 5 期

第 14 卷 4 期

第 14 卷 3 期

第 14 卷 2 期

第 14 卷 1 期

1995 年

第 13 卷 6 期

第 13 卷 5 期

第 13 卷 4 期

第 13 卷 3 期

第 13 卷 2 期

第 13 卷 1 期

1994 年

第 12 卷 6 期

第 12 卷 5 期

第 12 卷 4 期

第 12 卷 3 期

第 12 卷 2 期

第 12 卷 1 期

1993 年

第 11 卷 6 期

第 11 卷 5 期

第 11 卷 4 期

第 11 卷 3 期

第 11 卷 2 期

第 11 卷 1 期

1992 年

第 10 卷 6 期

第 10 卷 5 期

第 10 卷 4 期

第 10 卷 3 期

第 10 卷 2 期

第 10 卷 1 期

1991 年

第 9 卷 6 期

第 9 卷 5 期

第 9 卷 4 期

第 9 卷 3 期

第 9 卷 2 期

第 9 卷 1 期

1990 年

第 8 卷 6 期

第 8 卷 5 期

第 8 卷 4 期

第 8 卷 3 期

第 8 卷 2 期

第 8 卷 1 期

1989 年

第 7 卷 6 期

第 7 卷 5 期

第 7 卷 4 期

第 7 卷 3 期

第 7 卷 2 期

第 7 卷 1 期

1988 年

第 6 卷 6 期

第 6 卷 5 期

第 6 卷 4 期

第 6 卷 3 期

第 6 卷 2 期

第 6 卷 1 期

1987 年

第 5 卷 6 期

第 5 卷 5 期

第 5 卷 4 期

第 5 卷 3 期

第 5 卷 2 期

第 5 卷 1 期

1986 年

第 4 卷 6 期

第 4 卷 5 期

第 4 卷 4 期

第 4 卷 3 期

第 4 卷 2 期

第 4 卷 1 期

1985 年

第 3 卷 6 期

第 3 卷 5 期

第 3 卷 4 期

第 3 卷 3 期

第 3 卷 2 期

第 3 卷 1 期

1984 年

第 2 卷 4 期

第 2 卷 3 期

第 2 卷 2 期

第 2 卷 1 期

1983 年

第 1 卷 4 期

第 1 卷 3 期

第 1 卷 2 期

第 1 卷 1 期

[期刊论文]

Extreme ultraviolet lithography mask patterning and printability studies with a Ta-based absorber

DO I：10.1116/1.590948

作者：P. J. S. Mangat;S. D. Hector;M. A. Thompson;等

页码：3029 - 3029

全文购买

[期刊论文]

Insights into the electron-field emission mechanism from nanostructured carbons: A multistep phenomenon and modeling

DO I：10.1116/1.2919150

作者：Sanju Gupta;

页码：1006 - 1006

全文购买

[期刊论文]

Potential of pulsed electron-beam deposition for nanomaterial fabrication: Spatial distribution of deposited materials

DO I：10.1116/1.2917081

作者：A. Steigerwald;R. Mu;

页码：1001 - 1001

全文购买

[期刊论文]

Enhanced resolution of poly(methyl methacrylate) electron resist by thermal processing

DO I：10.1116/1.3167367

作者：Nima Arjmandi;Liesbet Lagae;Gustaaf Borghs;

页码：1915 - 1915

全文购买

[期刊论文]

Reducing imaging defects in high-resolution photolithography

DO I：10.1116/1.2834554

作者：Fei Wang;William A. Stanton;

页码：L19 - L19

全文购买

[期刊论文]

Flexible polymeric rib waveguide with self-align couplers system

DO I：10.1116/1.2830634

作者：Cheng-Sheng Huang;Wei-Chih Wang;

页码：L13 - L13

全文购买

[期刊论文]

Boron nanobelts grown under intensive ion bombardment

DO I：10.1116/1.2827498

作者：W. T. Li;R. Boswell;J. D. Fitz Gerald;

页码：L7 - L7

全文购买

[期刊论文]

Fabrication of ideally ordered anodic porous alumina with large area by vacuum deposition of Al onto mold

DO I：10.1116/1.2821734

作者：Kazuyuki Nishio;Takashi Yanagishita;Sho Hatakeyama;等

页码：L10 - L10

全文购买

[期刊论文]

Application of electron holography to analysis of submicron structures

DO I：10.1116/1.2834558

作者：M. A. Gribelyuk;A. G. Domenicucci;P. A. Ronsheim;等

页码：408 - 408

全文购买

[期刊论文]

Defects in Ge and Si caused by 1 MeV Si[sup +] implantation

DO I：10.1116/1.2834557

作者：D. P. Hickey;Z. L. Bryan;K. S. Jones;等

页码：425 - 425

全文购买